ZP3P sorozatú hosszirányú vákuumkivezető típus pufferrel

A ZP3P sorozatú hosszirányú vákuumkivezető típusa pufferrel egy részecskeáramlás-vezető, amelyet nagy vákuumú környezetekhez terveztek. Alapvető funkciója a hosszanti részecskenyalábok hatékony és stabil elszívása. Ugyanakkor az integrált pufferszerkezetek révén optimalizálja a részecskeátviteli dinamikát, hogy megfeleljen a precíziós ipari folyamatok igényeinek.

Főbb műszaki jellemzők
Longitudinális vákuum-elszívás architektúra
Az axiálisan szimmetrikus vákuumcsatorna kialakítása annak biztosítására szolgál, hogy a részecskeáramlás a berendezés fő tengelye mentén irányuljon, elkerülhető legyen az oldalirányú elszívás okozta áramlási tér torzulás, és megőrizze a vákuumkamra légáramlási integritását.

Beágyazott puffer mechanizmus
A beépített többfokozatú dinamikus pufferegység megvalósítja a nagyenergiájú részecskeáramlás előszabályozását az érintésmentes energiagradiens szabályozáson keresztül, csökkenti a részecskefázistér eltérését, és jobb kollimációt biztosító részecskenyalábot biztosít a downstream folyamatokhoz.

Vákuumos kompatibilitási kialakítás
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10^-5 Pa and above.

Erőátviteli dinamika optimalizálás
A puffermodul és az extrakciós csatorna összehangolt kialakítása a részecske energiaspektrumának aktív tömörítését valósítja meg, hatékonyan csökkenti a szórási veszteséget és javítja a nyaláb minőségét, ami különösen alkalmas szigorú monokromatikus követelményeket támasztó alkalmazási forgatókönyvekhez.

Ipari rendszer alkalmazkodóképessége
A szabványos karimás interfész támogatja a moduláris integrációt, és zökkenőmentesen csatlakoztatható különféle vákuum-folyamatkamrákhoz. Nem mágnesezett szerkezeti kialakítása tovább bővíti alkalmazhatóságát mágneses térre érzékeny környezetben.